第470章 又回到老问题了（2 / 2）

映入高振东眼帘的，是一个略显圆柱形的金属物体，大部分光学系统都被包裹在内，侧面靠中间位置开了一个口，这个口子是用来放掩膜的。

高振东和负责机械的同志仔细端详着这个机器，光学所的同志向他们介绍：「这个机器工作波长355nm，光学调制传递函数在理想位置大概是0.63左右，光程差小于四分之一波长，数值孔径0.029，放大倍率1。」

这些高振东就是真的不懂了，除了355nm的工作波长和放大倍率1之外，其他的他都不清楚：「李工，这意味着什麽？」

李工不以为意，这位毕竟不是搞光学的：「这意味着他的解析度为9μm。」

9μm？高振东一下子就炸了，这个解析度，搭配较小的形变，10μm线宽不是梦啊。

「李工，那图像的形变情况怎麽样？」

「很小，最大场曲在15μm范围内，最大像散在7μm左右，总体畸变小于1ppm，像面不均匀性小于2%，我想对于你们的要求是完全没有问题的。」李工笑道，对此他也颇为自得。

这个机器，高振东要求的投影直径是160mm左右，1ppm的畸变，意味着不到1μm，这对高振东的想法来说是完全足够了。

高振东哈哈大笑：「李工，太谢谢你们了！辛苦辛苦！」

李工笑道：「能满足你们的要求就好，今天时间也比较晚了，具体的其他事务，我们明天继续怎麽样？」

高振东在兴奋中连连点头：「好，今天就不麻烦同志们了，我们明天再继续。」

当天晚上，高振东辗转反侧，想了半个晚上。

第二天一早，高振东带着人，早早的就来到试验室门口，李工已经等在那里了，一行人换好衣服进去。

高振东进去之后，李工开始张罗着叫人用标准掩膜，进行一遍完整的测试，毕竟他昨天说归说，但是完整的测试流程是要走一遍给高振东他们看的，这算是甲方来验收了。

试验一边进行，高振东一边拿着整套光学系统的指标在看，他想看看能不能达到自己的想法。

看着看着，他皱了一下眉头。

「李工，这套系统的透光率，是30%多？」高振东问道。

他没好说「只有30%多」这个话，有点儿不太好。

李工脸上露出了一点儿不好意思的神色：「嗯，355nm这个波长已经进入紫外波长了，透光率天生就比较差，加上材料的原因，就比较难看了。」

紫外线波长是10nm到400nm，能量高，但是穿透性差，这个有点像辐射中的阿尔法射线，能量最高，但是一般常见的阿尔法射线一张列印纸都能挡得住。

这个透光率，还是因为355nm波长比较长，穿透性还没恶化到底的原因。

这让高振东感到有些难办了，这样一来，如果第二步需要微缩投影，加上微缩那一套光学系统，透光率会进一步恶化，虽然那一步是要聚焦的，但是哪怕是现在，这个透光率都已经到了危险的边缘了，雷射功率做大，不是大力出奇迹那麽简单的，能保留越高的透光性越好。

高振东现在也不好说，毕竟勉强够用，只是问了一句：「现在的材料透光率多少？」

「400nm波长10mm透光率不小于99%，300nm波长10mm透光率不小于30%，这已经是增加了增透膜之后的效果了。」

嚯，这可下降得够快的，难怪数据这麽难看，355nm比300nm肯定是要好得多，但是架不住一套光学系统里面有多个透镜。

高振东点点头，一边看着试验，一边说出了自己的想法。

「李工，这个系统的解析度，在第二步的时候能不能做到5μm乃至更好一点？」

他想搏一搏。

李工听了他的话，摇了摇头。

「很难，现在这个，已经是我们的极限了，别的不说，加工成本就极为高昂，再提高到你说的那个程度，我们现在这种人工加工再优选的方法就已经不一定实用，加工成本将极为高昂，完全没法量产。」

高振东没有被吓住：「如果不计成本，只要一套或者几套呢？」

李工眼睛一亮，然后又暗淡下来：「那加工倒是有可能，但是再提高的话，我们的材料撑不住，依然没有意义。」

「材料？什麽材料？」高振东打破砂锅问到底。

「光学玻璃，我们现在用的是冕牌光学玻璃，其参数如透光性丶热膨胀系数等不是太好，要麽影响光学调制传递函数这些关键指标，要麽影响其环境适应性，微小的温度波动都可能造成性能的劣化，就现在这个，都是有严格的工作温度范围要求的。」

又回到老问题上了，材料。

冕牌光学玻璃，不是一个品牌，而是光学玻璃的种类。

(本章完)